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大口径凸非球面面形检测方法研究

Study on Large Convex Aspherical Lens Testing

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摘要

提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统,对误差来源进行了分析并给出消除方法。对直径Φ270 mm的凸非球面透镜进行检测,测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为 0.585λ和0.083λ。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考,能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。

Abstract

A surface measurement method of convex aspherical lens with large clear aperture is proposed based on an aspherical compensation mirror. It overcomes the difficulty that multiple lenses are needed for compensating the normal aberration of convex aspherical lens. In addition, it simplifies the design and reduces the cost. Aspherical lens measurement system with large diameter is designed and implemented. Source of error is systematically analyzed, and elimination method of error is also proposed. In order to verify the feasibility of the proposed method, a convex aspherical lens with an aperture of 270 mm is inspected. The peak valley (PV) value and root mean square (RMS) of the tested aspherical surface are 0.585λ and 0.083λ, respectively. This method provides a technical reference for large aperture aspherical surface testing, and also can be used in the field of rough polishing testing.

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补充资料

中图分类号:O436

DOI:10.3788/cjl201441.0408003

所属栏目:测量与计量

基金项目:国家国际科技合作专项(2011DFR10010)、国家科技重大专项(2011ZX02402)

收稿日期:2013-10-17

修改稿日期:2013-10-29

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

宋强:中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800中国科学院大学, 北京 100049
杨宝喜:中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800中国科学院大学, 北京 100049
袁乔:中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
李璟:中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
朱菁:中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800中国科学院大学, 北京 100049
黄惠杰:中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800中国科学院大学, 北京 100049

联系人作者:宋强(songqiang@siom.ac.cn)

备注:宋强(1987—),男,硕士研究生,主要从事高数值孔径光学光刻技术与光电检测等方面的研究。

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引用该论文

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