光学学报, 2014, 34 (s2): s214010, 网络出版: 2014-12-04  

高功率980 nm半导体激光器波导结构优化

High Power 980 nm Semiconductor Laser Waveguide Structure Optimization
作者单位
1 长春理工大学高功率半导体国家重点实验室, 吉林 长春 130022
2 长春机械科学研究院有限公司, 吉林 长春 130103
摘要
为了提高980 nm半导体激光器的出光功率,在外延结构中加入了扩展波导,并优化了激光器的垒层厚度和波导层组分,将光场以有源区为中心的对称分布转化为以扩展波导和有源区同为中心的对称分布,降低了有源区限制因子,提高了输出功率,同时增加了出光面积,降低了器件腔面的光功率密度,避免器件出现光学灾变损伤。
Abstract
In order to improve the optical power of 980 nm semiconductor laser, the extension waveguide is added to the epitaxy structure. The laser barrier layer thickness and the waveguide component are optimized. The light field is shifted to the center constituted by both the active region and extension waveguide layer from the center of quantum well with symmetric pattern, the limiting factors is reduced , and the output power is increased. The optical power density at output window is decreased since the optical field in vertical direction is enlarged, and thus the catastrophic optical damage is avoided.

吴丽娜, 李特, 李再金, 乔忠良, 李林, 王荣力, 曲轶, 刘国军. 高功率980 nm半导体激光器波导结构优化[J]. 光学学报, 2014, 34(s2): s214010. 吴丽娜, 李特, 李再金, 乔忠良, 李林, 王荣力, 曲轶, 刘国军. High Power 980 nm Semiconductor Laser Waveguide Structure Optimization[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(s2): s214010.

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