太赫兹科学与电子信息学报, 2015, 13 (1): 27, 网络出版: 2015-11-30  

利用电容结构改善太赫兹信号与检测器的耦合

Terahertz signal detector improvement based on capacitive coupling structure
作者单位
南京大学 超导电子研究所,江苏 南京 210093
摘要
对于THz 频段的检测器,当器件的尺寸远远小于检测信号的波长时,可以获得快速的响应速度,但耦合信号的能力会下降。为了提高检测器的信号耦合能力,需要借助天线收集信号。因此天线的性能直接决定着器件的响应频段及灵敏度等参数指标。六氮五铌(Nb5N6) 微测热辐射计太赫兹检测器采用平面集成天线的方式来耦合信号,平面天线通过微加工技术,经过光刻、剥离等过程,集成在基片上,Nb5N6 置于平面天线的中心。针对0.32 THz 的中心频率,尝试采用电容耦合信号的设计方法,提高了Nb5N6 的信号耦合能力。
Abstract
A detector can achieve quick response when it is much smaller than the wavelength of the source signal in THz wave band at the expense of signal coupling capability.Therefore, an antenna is applied to collect signals in order to enhance the signal coupling capability of the detector.The properties of antenna determine the frequency response band,the sensitivity and other parameters of the detector directly. A planar-integrated antenna is adopted for signal acquisition in the Nb5N6 microbolometer detector, which is fabricated by lithography,lift-off and other processes of micro-fabrication. The Nb5N6 microbolometer is placed in the center of the planar antenna. Aiming for the center frequency of 0.32 THz, a special capacitive coupling design is proposed to improve the signal coupling capability.

徐磊, 涂学凑, 万超, 裴宇峰, 康琳, 吴培亨. 利用电容结构改善太赫兹信号与检测器的耦合[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2015, 13(1): 27. XU Lei, TU Xuecou, WAN Chao, PEI Yufeng, KANG Lin, WU Peiheng. Terahertz signal detector improvement based on capacitive coupling structure[J]. Journal of terahertz science and electronic information technology, 2015, 13(1): 27.

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!