红外技术, 2016, 38 (4): 300, 网络出版: 2016-05-11   

512×512元帧转移EMCCD图像传感器

A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels
作者单位
中国电子科技集团公司第四十四研究所,重庆 400060
摘要
采用埋沟、三浌多晶硅、两次金属工仦,研制出正照 EMCCD器件。器件的像元尺寸 16 μm×16 μm。器件在-20℃下工作,读出频率 10 MHz,倍增增益可达 1000倍以上,探测灵敏度 5×10-4 lx。
Abstract
By using burried channel, triple-layer polysilicon, double-layer metal process, a frame transfer EMCCD image sensor with 512×512 pixels has been successfully developed in domestic for the first time. The pixel size is 16 μm×16 μm. At -20℃ and pixel readout frequency of 10 MHz, the gain of 1000 can be achieved, and detection sensitivity reaches 5×10-4 lx.

白雪平, 郑渝, 李金, 刘芳, 陈于伟, 汪朝敏. 512×512元帧转移EMCCD图像传感器[J]. 红外技术, 2016, 38(4): 300. BAI Xueping, ZHENG Yu, LI Jin, LIU Fang, CHEN Yuwei, WANG Chaomin. A Frame Transfer EMCCD Image Sensor with 512×512 Pixels[J]. Infrared Technology, 2016, 38(4): 300.

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