光学学报, 2016, 36 (7): 0731001, 网络出版: 2016-07-08   

0.55~0.85 μm波段增透膜的相位调控设计与研制 下载: 513次

Design and Fabrication: Phase Modulated Antireflection Coatings in 0.55~0.85 μm Waveband
作者单位
1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 中国科学院红外探测与成像技术重点实验室, 上海 200083
摘要
在0.55~0.85 μm波段范围内,在保证薄膜高透射率的同时对其相位进行调控,是多偏振成像模块项目研制的关键技术。采用等效膜层理论,使用三种氧化物薄膜材料:Ta2O5、Al2O3、SiO2,在光学玻璃H-LaK4L基底上设计并制备了相位调控增透膜。经过工艺优化,研制结果表明,在28°入射条件下,0.55~0.85 μm的波段范围内,薄膜平均透射率大于97%,其相位差小于1°。膜层能够经受航天光学薄膜产品的环境实验的检验,满足了项目的可靠性要求。
Abstract
In the waveband of 0.55~0.85 μm, how to modulate the phases while ensuring high transmittance of thin films is the key technology of multiple polarization imaging module project. Phase modulated antireflection coatings has been designed and fabricated on the substrate H-LaK4L(optical glass) by utilizing asymmetry equivalent layers theory and using three types of oxide coating materials: Ta2O5、Al2O3、SiO2. After process optimization, in the waveband of 0.55~0.85 μm and with the incidence angle of 28°, the results indicate that the average transmittance is greater than 97% while phase difference is less than 1°. The coatings can pass the environmental test required for space optical thin film products, and meet the reliability requirement of the project.

李大琪, 于天燕, 陈刚, 刘保剑, 余德明, 段微波, 刘定权. 0.55~0.85 μm波段增透膜的相位调控设计与研制[J]. 光学学报, 2016, 36(7): 0731001. Li Daqi, Yu Tianyan, Chen Gang, Liu Baojian, Yu Deming, Duan Weibo, Liu Dingquan. Design and Fabrication: Phase Modulated Antireflection Coatings in 0.55~0.85 μm Waveband[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(7): 0731001.

本文已被 2 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!