中国光学, 2016, 9 (2): 203, 网络出版: 2016-10-19   

大口径反射镜高反射膜研究进展

Research development of high reflecting coating for large-diameter mirror
孙梦至 1,2,3,*王彤彤 1,2王延超 1,2,3刘震 1,2刘海 1,2王笑夷 1,2杨海贵 1,2高劲松 1,2
作者单位
1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033
2 中国科学院 光学系统先进制造技术重点实验室,吉林 长春 130033
3 中国科学院大学, 北京 100049
摘要
大口径反射镜是大型反射式光学系统中关键的光学元件,在工作波段的反射率直接决定了光学系统的性能。随着地基、天基观测设备的发展,对大口径反射镜高反射膜提出了更宽的工作波段、更高的反射率、更好的环境适应性等要求。针对这些挑战,各种新的膜系结构、新的镀制方法、新的膜层材料纷纷出现,满足了大口径反射镜高反射膜的各种需求。本文对近些年国内外的大口径反射镜高反射膜研究进展予以综述,并预测大口径反射镜高反膜制备的技术趋势将由铝反射膜向银反射膜、由热蒸发向磁控溅射发展。
Abstract
Large-diameter mirrors are the key optical elements in large aperture reflective type optical system, and the optical system performance is directly associated with the reflectance in the working wavelength region. With the great development of the ground-based and space-based observing instruments, more critical performance is required for large-diameter mirrors, such as wider wavelength region, higher reflectance, better environment durability and so on. Kinds of new coating structures, new coating methods, new coating material are emerging to the challenges, meeting the requirements of high reflecting coating for large-diameter mirror. This paper reviews the research development of high reflecting coating for large-diameter mirror home and abroad, and predicts the developing trend for preparing high reflecting coating of large-diameter reflector from Al mirror to Ag mirror as well as from thermal evaporation to magnetron sputtering.

孙梦至, 王彤彤, 王延超, 刘震, 刘海, 王笑夷, 杨海贵, 高劲松. 大口径反射镜高反射膜研究进展[J]. 中国光学, 2016, 9(2): 203. SUN Meng-zhi, WANG Tong-tong, WANG Yan-chao, LIU Zhen, LIU Hai, WANG Xiao-yi, YANG Hai-gui, GAO Jin-song. Research development of high reflecting coating for large-diameter mirror[J]. Chinese Optics, 2016, 9(2): 203.

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