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大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术

Splicing Detection Technique of Homogeneity of Large-Aperture Laser Neodymium Glass

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摘要

提出了基于600 mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法,通过像素错位误差模拟分析结果,设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台,实现了对角线接近1 m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测,并对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证。结果表明:拼接结果平滑,均匀性拼接测量与直接测量结果的相对误差优于2×10-7,全口径均匀性的重复性优于4×10-8,单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为2×10-7。

Abstract

A measurement technique of one-dimensional (1D) sub-aperture splicing based on an interferometer with the aperture of 600 nm is proposed. With the analysis of pixel offset error simulation results, a 1D large air-float precision scanning splicing platform is designed and developed, the splicing detection of full aperture optical homogeneity of a large aperture laser glass with a diagonal close to 1 m is realized, and the accuracy and the repeatability of this technique are tested. The results show that the splicing results are smooth, the relative error between the homogeneous splicing and direct measurement results is superior to 2×10-7, the repeatability of full aperture homogeneity is superior to 4×10-8, and the largest difference between the measurement homogeneity results of single-aperture and the same region after splicing is 2×10-7.

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补充资料

中图分类号:TN247

DOI:10.3788/aos201838.0912004

所属栏目:仪器,测量与计量

基金项目:国家自然科学基金(11602280)

收稿日期:2018-03-02

修改稿日期:2018-04-08

网络出版日期:2018-04-23

作者单位    点击查看

白云波:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海201800
周游:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海201800
刘世杰:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海201800
邵建达:中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室, 上海201800
徐隆波:南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏 南京 210094

联系人作者:刘世杰(shijieliu@siom.ac.cn); 白云波(yunbobai2012@siom.ac.cn);

【1】Li J X, Guo R H, Zhu R H, et al. Two-step wavelength tuning absolute testing method of the optical homogeneity of optical material[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(11): 1112007.
李建欣, 郭仁慧, 朱日宏, 等. 光学材料光学均匀性的波长调谐两步绝对测量法[J]. 光学学报, 2012, 32(11): 1112007.

【2】Ai C, Wyant J C. Measurement of the inhomogeneity of a window[J]. Journal of Optical Engineering, 1991, 30(9): 602-610.

【3】Negro J E. Subaperture optical system testing[J]. Applied Optics,1984, 23(12): 1921-1930.

【4】Xu X H, Wang Q, Song B, et al. Measurement system of optical homogeneity of large-size optical material based on subaperture stitching technique[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(4): 0412002.
徐新华, 王青, 宋波, 等. 基于子孔径拼接技术的大尺寸光学材料均匀性检测系统[J]. 光学学报, 2012, 32(4): 0412002.

【5】Guo P J, Yu J C, Ding Z Z, et al. High accuracy testing method of the homogeneity of optical glass[J]. Optical Technique, 2001, 27(6): 528-529.
郭培基, 余景池, 丁泽钊, 等. 光学玻璃光学均匀性高精度测量技术[J]. 光学技术, 2001, 27(6): 528-529.

【6】Schwider J, Burow R, Elssner K E, et al. Homogeneity testing by phase sampling interferometry[J]. Applied Optics, 1985, 24(18): 3059-3061.

【7】Zhang M Y, Li X N. Accuracy analysis of stitching interferometry for test of large diameter mirror[J]. Journal of Applied Optics, 2006, 27(5): 446-449.
张明意, 李新南. 子孔径拼接法检验大口径光学镜面精度分析[J]. 应用光学, 2006, 27(5): 446-449.

【8】Li X N, Zhang M Y. Study on the sub-aperture stitching interferometry for large plano-optics[J]. Optical Technique, 2006, 32(4): 514-517.
李新南, 张明意. 大口径光学平面的子孔径拼接检验研究[J]. 光学技术, 2006, 32(4): 514-517.

【9】Guo P J, Yu J C, Ding Z Z, et al. Absolute testing method of the homogeneity of optical glass[J]. Laser Journal, 2003, 24(3): 26-27.
郭培基, 余景池, 丁泽钊, 等. 光学玻璃光学均匀性的绝对测量技术[J]. 激光杂志, 2003, 24(3): 26-27.

【10】Yang W K, Deng W R, Yang Y J. Large size and high quality optical glass uniformity detection device[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 1998, 19(6): 638-640.
杨文库, 邓文荣, 杨宇晶. 大尺寸高质量光学玻璃均匀性的检测装置[J]. 仪器仪表学报, 1998, 19(6): 638-640.

【11】Zhang R Z, Yang C L, Xu Q, et al. Anti-tilting technology of the sub-aperture stitching interferograms[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2004, 16(7): 879-882.
张蓉竹, 杨春林, 许乔, 等. 子孔径拼接干涉检测中去倾斜处理技术[J]. 强激光与粒子束, 2004, 16(7): 879-882.

【12】Zhang R Z, Yang C L, Xu Q, et al. Testing the large aperture optical components by the stitching interferometer[J]. Optical Technique, 2001, 27(6): 516-517.
张蓉竹, 杨春林, 许乔, 等.使用子孔径拼接法检测大口径光学元件[J]. 光学技术, 2001, 27(6): 516-517.

【13】Hou X, Wu F, Yang L, et al. Status and development trend of sub-aperture stitching interferometric testing technique[J]. Optics and Optoelectronic Technology, 2005, 3(3): 50-53.
侯溪, 伍凡, 杨力, 等. 子孔径拼接干涉测试技术现状及发展趋势[J]. 光学与光电技术, 2005, 3(3): 50-53.

引用该论文

Bai Yunbo,Zhou You,Liu Shijie,Shao Jianda,Xu Longbo. Splicing Detection Technique of Homogeneity of Large-Aperture Laser Neodymium Glass[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(9): 0912004

白云波,周游,刘世杰,邵建达,徐隆波. 大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术[J]. 光学学报, 2018, 38(9): 0912004

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