中国激光, 2019, 46 (2): 0203001, 网络出版: 2019-05-09   

飞秒激光作用下金膜的微观特性变化 下载: 1371次

Microscopic Properties Changes of Au Film Under Action of Femtosecond Laser
作者单位
中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室薄膜光学实验室, 上海 201800
摘要
用磁控溅射的方法在石英基底上制备了金(Au)膜,研究了Au膜在近激光损伤阈值(LIDT)飞秒脉冲激光辐照下的物相结构和表面形貌。结果表明:所制备的Au膜为(111)面取向生长的薄膜;近LIDT的激光辐照使辐照区的Au膜形成大晶粒,并由(111)单一取向变为多晶结构;Au膜晶粒尺寸的增大会导致表面粗糙度增加。实验结果为明确Au膜在飞秒激光作用下的损伤过程及后期应用提供了依据。
Abstract
Au films are deposited on fused silica substrates using the magnetron sputtering technique. The phase structure and surface morphology of the Au film after femtosecond pulse laser irradiation near laser induced damage threshold (LIDT) are investigated. The results show that the Au film prepared by magnetron sputtering is (111) oriented growth film. Laser irradiation energy near LIDT causes Au film to form large grains in the irradiated area and become polycrystalline structure from (111) single orientation. The increase of grain size leads to the increase of surface roughness. The experimental results provide a certain basis for exploring the damage process and later application of Au film under femtosecond laser.

崔云, 张晗宇, 赵元安, 晋云霞, 朱美萍, 邵建达. 飞秒激光作用下金膜的微观特性变化[J]. 中国激光, 2019, 46(2): 0203001. Yun Cui, Hanyu Zhang, Yuan'an Zhao, Yunxia Jin, Meiping Zhu, Jianda Shao. Microscopic Properties Changes of Au Film Under Action of Femtosecond Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(2): 0203001.

本文已被 7 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!