中国激光, 2020, 47 (6): 0614002, 网络出版: 2020-06-03   

基于双层格栅的超材料太赫兹宽频反射器 下载: 1064次

Metamaterial Terahertz Broadband Reflector with Double-Layer Grid
王建扬 1,2,3吴倩楠 1,2,3,*
作者单位
1 中北大学理学院物理系, 山西 太原 030051
2 中北大学微系统集成研究中心, 山西 太原 030051
3 中北大学前沿交叉科学研究院, 山西 太原 030051
摘要
提出一种基于超材料的由上下层格栅金属和中间层聚酰亚胺薄膜组成的太赫兹宽频反射器,可解决现有反射器遇到的反射率与反射带宽无法同时最优的问题。利用时域有限差分法对该反射器的反射性能进行研究和分析,通过优化金属层数、中间层聚酰亚胺薄膜厚度、格栅周期长度及格栅宽度等,确定了可以同时提高反射带宽和反射率的特征尺寸。结果表明:这种反射器在太赫兹频段具有优异的反射性能和较大的反射带宽,在0~4.0 THz工作频段内,其反射率在0.98以上的频段宽度可达2.04 THz。所提结构为太赫兹宽频通信技术的发展提供了一种高性能反射器件的设计方案。
Abstract
In this paper, a metamaterial terahertz broadband reflector, which is composed of a middle layer of polyimide film sandwiched between upper and lower metal gratings, is proposed. This new design overcomes the incapability of existing reflectors to simultaneously optimize the reflectivity and reflection bandwidth. The reflection performance of the reflector was analyzed by the finite difference time domain method, and the number of metal layers, thickness of the polyimide film, length of the grating period, and grid width were optimized for achieving wide-band reflection and high reflectivity. Results show that this reflector has excellent reflection performance and large reflection bandwidth in the terahertz frequency band. In the 0-4.0-THz working band, the bandwidth with reflectivity above 0.98 can reach 2.04 THz. The proposed method provides a design scheme for high-performance reflectors for the development of terahertz broadband communication technology.

1 引言

太赫兹(THz)波是指频率在0.1~10 THz范围内的电磁波[1],其频率位于人类还没有完全认识并利用的微观量子理论和宏观经典理论之间的过渡区域[2]。太赫兹波有很多优于其他电磁波的特性,比如透射能力强[3]、频率范围极宽[4]、信噪比很高[5]、单光子能量低[6]等,自21世纪以来其被广泛运用到物体成像[7]、宇宙探测[8]、医疗诊断[9]、移动通信[10]等各种领域。因此,为了更好地产生和利用太赫兹波,科学家们设计了许多可以调控太赫兹波的功能器件,到目前为止有太赫兹天线[11]、太赫兹吸波器[12-14]、太赫兹探测器[15],还有太赫兹通信系统[16]中专门用于隔离[17]和调控[18]太赫兹波的太赫兹反射器。太赫兹反射器还被大量应用在太赫兹光源、太赫兹检测器等一系列元件中,因此具有高宽带的太赫兹反射器具有重要的实际研究意义和应用潜力。

目前,主要是基于金属薄膜法[19]、氧化物薄膜法[20]、一维亚波长光栅法[21]和一维光子晶体法[22]进行太赫兹反射器的设计和制备,且己经取得了许多研究成果。2008年,张戎等[23]利用一维光子晶体,在亚太赫兹波段实现了全角度下95%的反射率和0.25 THz的反射带宽;2013年,Lai等[24] 利用通过在氧化锌薄膜内掺入铝制作的反射器在太赫兹波段实现了97%的反射率;2014年,Lai等[25]研制出一种基于二氧化钒的薄膜太赫兹反射器,其反射频带在0.1~2.5 THz范围内,反射率可达85%。2016年,陶智勇等[26]提出了一种类波导结构的太赫兹反射器,工作频带在0.7~1.48 THz范围内,反射率达0.98。2018年,Zhao等[27]设计了一种光激发可切换太赫兹宽频反射器,可以在0.7~1.0 THz范围内实现95%以上的反射率;2019年,谢靖文等[28]使用全介质太赫兹反射器在1.1~2.0 THz范围内实现了99%以上的反射率。然而,上述介绍的太赫兹反射器大多数对入射角度有极高的要求,设计较为复杂,且反射频段带宽和反射率无法同时达到最优。

其中的一维亚波长光栅法和一维光子晶体法制备的反射器因介质及晶体结构,其太赫兹性能受入射电磁波偏振影响较大,即大多数结构只能在单一偏振态下获得高反射率。而传统金属薄膜法制作的反射器虽然可在超宽的工作频带下实现超高的反射率,但是反射相位信息较为单一,使其无法在高灵敏识别、高精度信息探测及太赫兹成像等方面得到实际的应用。

本文提出了一种基于超材料的由上下两层格栅金属和中间层聚酰亚胺薄膜组成的太赫兹宽频反射器。其采用电磁谐振结构和格栅状的金属结构,不依赖于材料本身的属性,只要几何结构形状和尺寸合适,就可对电磁波进行调控,且可在不同偏振态下激发出磁共振和电共振现象。通过设计双层结构增加了反射器的反射率,与以往太赫兹反射器相比,具备宽频段下的高反射率特征。以时域有限差分法(FDTD)为基础探讨了不同格栅形超材料尺寸对太赫兹反射器反射性能的影响,并分析了太赫兹波入射偏振态、入射角度的改变对太赫兹宽频反射器反射性能的影响。

2 反射器模型的设计

本文设计了一种采用双层格栅金属的超材料太赫兹宽频反射器,其结构如图1(a)和图1(b)所示。该反射器的上下表面由格栅形金属贴片组成,其材料为金(Au),电导率是4.56×107 S/m,厚度均是h=0.2 μm,中间层是厚度d=20 μm的聚酰亚胺(PI)聚合物,其介电常数ε=3.5+9.45×10-3i,整个单元周期长度p=50 μm,金属的总臂长l=47 μm,格栅长度m=18.5 μm, 格栅宽度g=8.5 μm,线宽s=10 μm。

表 1. 格栅形超材料反射器的结构参数

Table 1. Structural parameters of grid-shaped metamaterial reflector

Parameterpdlmgs
Value /μm50204718.58.510

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图 1. 采用双层格栅金属的超材料太赫兹宽频反射器。(a)结构示意图;(b)正视图

Fig. 1. Metamaterial terahertz broadband reflector with double grid metal. (a) Structure diagram; (b) its front view

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双层格栅形超材料反射器的各项结构参数如表1所示,并利用时域有限差分法分别对TM和TE偏振态下器件的反射性能进行仿真与分析,反射率(S11)和透射率(S21)随工作频率的变化曲线如图2所示。在图2(a)中,当入射电磁波为TM偏振态时反射器在1.00~1.72 THz频段内的反射率可达0.98以上,带宽为0.72 THz;在图2(b)中,当入射电磁波为TE偏振态时在1.48~3.52 THz频段内的反射率在0.98以上,带宽为2.04 THz。在不同入射电磁波偏振态下,该超材料反射器的高反射率和带宽不同的原因是反射器表面的金属层不具有完全对称性,x轴方向和y轴方向的金属总长度不同,导致表面电流流经的xy方向的电长度不同,使得反射器的反射性能依赖于入射电磁波的偏振极化方向。从图2中还可以看出,虽然TM和TE两种偏振态下反射带宽不同,但两种偏振态下反射器均可以实现良好的反射特性。

图 2. 双层格栅形超材料太赫兹反射器的S11S21曲线。(a) TM偏振态;(b) TE偏振态

Fig. 2. S11S21 curves of double layer grid-shaped metamaterial terahertz reflector. (a) TM polarization state; (b) TE polarization state

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为了进一步了解该超材料反射器具有宽频带、高反射率的原因,以TE偏振态为例,通过使用CST电磁仿真软件获得了该反射器的表面电流图,如图3所示。超材料反射器前后表面的金属格栅条中的表面电流的方向相同,这些具有相同方向的表面电流相互之间分别产生不同强度的电谐振;而超材料反射器前后两侧格栅金属中的表面电流的方向相反,且该反射器聚酰亚胺中间层的上下表面中产生了位移电流,其正好与前后两侧格栅金属中的表面电流形成回路。依据右手定则,回路电流可以产生磁矩,且磁矩方向与磁场方向平行或者反平行,从而发生磁谐振。利用太赫兹波照射该反射器时,其表面产生的诸多电磁谐振相互叠加,从而实现了宽频带。

图 3. TE偏振态下双层格栅形超材料反射器表面电流分布图

Fig. 3. Surface current distribution of double-layer grid-shaped metamaterial reflector in TE polarization state

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3 反射器的数值分析与讨论

3.1 金属层数对格栅形超材料太赫兹反射器性能的影响

通过对格栅形超材料太赫兹反射器的基本几何结构进行仿真模拟,发现:这种双层格栅形超材料太赫兹反射器的反射效果相比以往的太赫兹反射器已经有了明显改善,且反射率可达0.98以上。接下来,为了能够更好地挖掘其反射性能,对采用双层和单层金属结构的超材料太赫兹反射器的反射性能进行了仿真模拟与对比,如图4(a)和图4(b)所示。在图4(a)中TM偏振态下,通过对比得出:具有单层金属的超材料太赫兹反射器在1.10~1.36 THz频段内的反射率达到0.98以上,但是带宽只有0.26 THz,远小于双层金属结构的0.72 THz。在图4(b)中TE偏振下,通过对比得出:具有单层结构的超材料太赫兹反射器在2.82~3.80 THz频段内的反射率达到0.98以上,但是带宽仅为0.98 THz,远小于双层金属结构的2.04 THz。通过以上对比与分析得出,双层格栅形超材料太赫兹反射器在太赫兹频段下具有非常宽的高反射率频段,且反射性能优于单层格栅结构的反射器。

图 4. 不同偏振态下的S11频谱图模拟结果。(a) TM偏振;(b) TE偏振

Fig. 4. Simulation results of S11 spectra in different polarization states. (a) TM polarization state; (b) TE polarization state

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在TE偏振态下,仿真单层和双层格栅形超材料反射器的表面电流图,如图5(a)和图5(b)所示,观察可得:双层超材料反射器的表面电流强度明显强于单层超材料反射器的表面电流强度,且双层超材料反射器前后两层的表面电流方向相反,这进一步增加了超材料反射器的谐振强度。接下来,又在该偏振态下,仿真了两反射器的电场分布图,太赫兹波的电场分量很多都穿透了单层格栅超材料反射器,如图6(a)所示,与图6(b)中双层格栅形超材料反射器的电场分布图有着鲜明的对比,第二层格栅增加了反射器的反射率,即单层的反射现象弱于双层的。综上所述,双层格栅形超材料反射器在太赫兹波段下具有宽的高反射率频带,且反射性能优于单层格栅结构的反射器。

图 5. TE偏振态下超材料反射器的表面电流图。(a)单层格栅形超材料反射器;(b)双层格栅形超材料反射器

Fig. 5. Surface current diagrams of metamaterial reflector in TE polarization state. (a) Single-layer grid-shaped metamaterial reflector; (b) double-layer grid-shaped metamaterial reflector

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图 6. TE偏振态下超材料反射器的反射电场图。(a)单层格栅形超材料反射器;(b)双层格栅形超材料反射器

Fig. 6. Reflected electric field diagrams of metamaterial reflector in TE polarization state. (a) Single-layer grid-shaped metamaterial reflector; (b) double-layer grid-shaped metamaterial reflector

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经过以上结果分析,可以看出:金属片层数对太赫兹反射器的性能有明显的影响,为了继续挖掘不同金属片层数的超材料反射器的反射效果,在TE偏振态下,将金属片层数分别改变为1、2、4、6、8、10,并对其反射性能进行对比与分析,结果如图7所示。

图 7. TE偏振下不同金属层数对S11的影响

Fig. 7. Effect of different metal layers on S11in TE polarization state

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图7结果表明:单层金属片结构的超材料反射器的反射带宽最短,反射性能最差;随着层数的不断增加,超材料反射器的高反射率对应的频段宽度的增加效果不明显。同时,考虑到后期加工工艺,双层金属片结构较为容易制作,因此可采用双层金属片结构来提高超材料反射器的反射率,增加其反射带宽,为要求宽高反射率频带的超材料反射器提供了一种设计方法。

3.2 中间层厚度对太赫兹反射器性能的影响

此外,改变格栅形超材料太赫兹反射器结构的方法有很多,本文通过有限差分法对不同聚酰亚胺厚度的格栅形超材料太赫兹反射器的反射性能进行仿真验证,结果如图8所示,聚酰亚胺厚度d分别为15,20,25,30 μm。从图8中观察到:当入射波在TM、TE两种偏振态时,随着聚酰亚胺介质层厚度逐渐增加,反射率在0.98以上的频段逐步向低频处移动,且反射率在0.98以上的频段的宽度在逐步减小。因此,可以得出如下结论:在保持超材料反射器及其他参数不变的情况下,减小聚酰亚胺中间层厚度可以提高超材料反射器的反射带宽。根据图8结果,本文确定d为20 μm,此时该太赫兹超材料反射器的反射效果在TM和TE偏振态下同时达到最优。

图 8. 不同偏振态下,S11随中间层厚度的变化曲线。(a) TM偏振;(b) TE偏振

Fig. 8. S11 versus thickness of intermediate layer in different polarization states. (a) TM polarization state; (b) TE polarization state

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3.3 格栅周期长度对太赫兹反射器反射性能的影响

下面讨论太赫兹反射器的反射性能随格栅周期长度的变化,设置格栅周期长度p分别为48,50,52,54,56 μm,对应的TM和TE偏振态下的反射系数曲线如图9所示。从图9中可以看出:随着格栅周期长度p的增加高反射率频段逐渐变窄,在TM偏振态下反射率在0.98以上的频带由0.84~1.74 THz变为1.06~1.65 THz,频带变窄了0.31 THz,在TE偏振态下反射率在0.98以上的频带由1.64~3.41 THz变为1.68~3.14 THz,频带变窄了1.46 THz,并且在TE偏振态下具有高反射率频段的反射系数有很大波动,频率2.7 THz附近处的反射率出现严重衰减。因此得出以下结论,在保持超材料反射器及其他参数不变的情况下,减小格栅周期长度可以提高超材料反射器的反射带宽。根据图9结果,本文确定p为48 μm,此结构参数可同时适用于TM和TE反射器。

图 9. 不同偏振态下,S11随格栅周期长度的变化曲线。(a) TM偏振;(b) TE偏振

Fig. 9. S11 versus length of grid period in different polarization states. (a) TM polarization state; (b) TE polarization state

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3.4 格栅宽度对太赫兹反射器反射性能的影响

为了更加了解格栅形超材料太赫兹反射器的不同结构参数对高反射频段的影响,下面通过改变格栅宽度来分析不同格栅宽度对太赫兹反射器反射性能的影响,设置格栅宽度g分别为2.5,5.5,8.5,11.5,14.5 μm,所得到的TM和TE偏振态下的反射系数频谱如图10所示。从图10中可以看出:随着格栅宽度g的增加,高反射率频段的宽度开始减小,在TM偏振态时高反射率频段随着格栅宽度的增加开始左右飘移,在TE偏振态时高频处反射率波动很大,反射器的反射效果不是很好。因此,在保持超材料反射器及其他参数不变的情况下,减小格栅宽度可以提高超材料反射器的反射带宽。根据图10结果,本文确定g为5.5 μm,此结构参数可同时适用于TM和TE反射器。

图 10. 不同偏振态下,S11随格栅宽度的变化曲线。(a) TM偏振;(b) TE偏振

Fig. 10. S11 versus grid width in different polarization states. (a) TM polarization state; (b) TE polarization state

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3.5 格栅长度对太赫兹反射器反射性能的影响

本小节将分析不同格栅长度对太赫兹反射器反射性能的影响,设置格栅长度m分别为2,6,10,14,18 μm,所得到的TE偏振态下的反射系数频谱如图11所示。从图11中可以看出:不同格栅长度的反射器的反射系数频谱图几乎重合在一起,改变格栅长度m对太赫兹超材料反射器的反射性能几乎没有什么影响。为了简化后期加工难度,本文确定栅格长度m为10 μm。

图 11. TE偏振下改变格栅长度对S11的影响

Fig. 11. Effect of changing grid length on S11 in TE polarization state

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3.6 入射角度对太赫兹反射器反射性能的影响

以上各项反射性能结果都是基于太赫兹波正入射于反射器表面,为了进一步分析其应用价值,改变太赫兹波对于反射器表面的入射角,讨论不同偏振态下入射角与反射器反射性能的联系。如图12所示,在TE偏振态下:当入射角θ逐渐增加时,具有高反射率频段的宽度开始收缩,且反射率曲线有很大波动;在θ<5°时,高反射率带宽仍可达2 THz;在θ≤15°时,宽频反射效应依然不会消失。如图13所示,在TM偏振态下,当入射角θ在60°以内时,反射率随入射角的增加只产生了微小的变化,且反射率在0.98以上的频段的宽度几乎没有减小,这与TE偏振态结果(入射角在0°~15°之间,高反射率频段较宽)存在差异,其原因是:在TM偏振态时超材料反射器不同入射角度下的磁场一直沿y方向保持不变,一直能够产出有效的磁响应;而在TE偏振态时因入射磁场的y分量越来越小,它与超材料结构之间的耦合越来越弱,以至于不再能够感应出有效的磁响应。因此,与TE偏振态相比,入射波为TM偏振态时,双层格栅形超材料反射器在很大的入射角范围内仍然可以保持良好的反射性能。

图 12. TE偏振下入射角对S11的影响

Fig. 12. Influence of incident angle on S11 in TE polarization state

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图 13. TM偏振下改变入射角角度对S11的影响

Fig. 13. Influence of incident angle on S11 in TM polarization state

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根据以上结果,为了使反射器的反射效果在不同偏振态下都能达到理想的范围,本文将太赫兹波的入射角度设定在0°~15°,该结构参数下反射器可以保持较宽的高反射率频段。

对已有成果和本文所得结果进行了对比,如表2所示。

表 2. 太赫兹反射器研究成果

Table 2. Terahertz reflector research results

Year ofPublicationReflector typeWorkingfrequencyband /THzReflectionbandwidth /THzReflectivityPolarizationstateIncidentangle (θ) /(°)
2009PVDF/PC one-dimensional photonic crystal terahertz reflector[23]Sub-terahertz0.250.98TE0
2013Aluminum doped zinc oxide thin film reflector[24]0.0-1.61.60.97TE/TM0
2014Thin film terahertz reflector ofvanadium dioxide[25]0.1-2.50.150.85TE/TM0
2016Broadband terahertz reflector withcomposite periodic waveguide structure[26]0.7-1.480.70.98TE/TM0
2018Photo-excited switchable broadbandterahertz reflector[27]0.7-1.00.30.95TE/TM0
2019All-dielectric terahertz reflector[28]1.1-2.00.80.99TE0
ProposedDouble-layer grid broadbandterahertz reflector0.0-4.0 (TE)/0.0-2.5 (TM)2.04(TE)/0.72(TM)0.98TE/TM≤15

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4 结论

本文设计了一个基于超材料的格栅形太赫兹反射器。通过分析聚酰亚胺中间层厚度、金属层数、格栅周期长度、格栅宽度等几何参数对反射率及反射带宽的影响,得到了反射带宽是现有反射器两倍的太赫兹反射器,且反射率可高达0.98以上。此外,还分析了不同偏振态下不同入射角度对该反射器性能的影响,得到在TM和TE偏振下0°~15°的入射角度范围内,该太赫兹反射器仍可具备宽反射带宽、高反射率且较丰富的相位信息等性能,在高灵敏识别、搜集入射信息、高精度信息探测及太赫兹成像等方面具有一定的应用价值。

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