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高功率固体激光器中大口径光学器件波前误差的建模及控制方法研究

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摘要

从惯性约束聚变系统高功率固体激光驱动器中具有典型意义的大口径激光传输反射镜的装配结构及其面形精度特点出发,对其波前误差进行了精细化建模分析,分别研究了粗糙度、纹波度和轮廓度的波前误差模型。并在此基础上,进一步针对如何在装校过程中将装配应力产生的面形误差控制在合理范围内的难题,提出了RMS梯度和PV值相结合的面形误差评价和控制方法,并进行了实验验证证明其可行性。以期为我国“神光-III”主机装置大口径反射镜装校过程中面形误差控制提供科学指导方法。

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补充资料

DOI:10.3788/aos201737.0714003

作者单位:

    清华大学
    清华大学
    清华大学机械工程系
    清华大学

引用该论文

姚超,王辉,张政,刘天. 高功率固体激光器中大口径光学器件波前误差的建模及控制方法研究[J].光学学报,2017,37(7):0714003.