倾斜测量滑块内滚道型面精度的方法研究与试验验证

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光学学报

ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2017年第37卷第10期5页

倾斜测量滑块内滚道型面精度的方法研究与试验验证

徐小韵 ¹欧屹 ¹冯虎田 ¹王凯 ¹王瑞 ¹

录用时间：2017-05-20

网络首发时间：2017-06-23

论文栏目

仪器，测量与计量

作者单位

¹ 南京理工大学

论文摘要

为了实现对滑块内滚道型面精度的准确快速测量，提出一种基于激光三角位移传感器倾斜测量的方式。对实现该方式的算法进行推理与验证，同时借助高精度圆棒进行试验验证。首先根据测量系统的特征与滑块内滚道的形状，建立相对应的模型。接着设计相应的算法，计算滑块内滚道的半径，并对测量过程中的误差来源进行标定补偿。然后在内滚道轮廓算法的基础上，计算滑块内滚道的轴线相对基准面的位置与平行度。最后介绍该方案的验证性试验并分析结果。试验结果表明：标准圆棒的测量精度为3.75μm，标准差在2μm以内。试验结果满足5μm的测量精度要求，且该测量方式对标定件与待测件没有位姿要求，具备一定的推广性。

激光位移传感器型面精度测量椭圆拟合传感器偏角位姿

引用本文

徐小韵, 欧屹, 冯虎田, 王凯, 王瑞. 倾斜测量滑块内滚道型面精度的方法研究与试验验证[J]. 光学学报, 2017, 37(10): 5.

DOI：10.3788/aos201737.10仪器，测量与计量05

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