基于二维光学点阵形变的面形测量方法 | 网络首发 -- 中国光学期刊网

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光学学报

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2018年第38卷第1期3页

基于二维光学点阵形变的面形测量方法

凌秋雨 ¹胡春光 ¹查日东 ¹胡晓东 ²胡小唐 ²

录用时间：2017-08-07

论文栏目

仪器，测量与计量

作者单位

¹ 天津大学精密仪器与光电子工程学院

² 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

论文摘要

反射镜是光学仪器核心基础元件，其面形的精密测量一直是研究的重要内容。基于光场调控产生的大小灵活可变的空间周期性分布的光学点阵，本文提出了一种根据二维光学点阵形变实现面形快速测量的新方法。结合几何光学和空间三维变换理论，建立了二维光学点阵几何形变量与反射镜三维面形的数学关联模型，并提出了基于点阵质心的面形重构算法，研究分析了测量方法的测量范围和单像素点分辨率，并对反射镜进行了多倾角的实验测试，实现了对直径为10.5mm的反射镜的亚微米级的测量。通过将测试数据与商用干涉仪的测量数据进行比较，验证了该方法的可行性。此外，新方法具有测量精度高、速度快、适应强等特点。

面形测量高反射面光学晶格激光三角法

引用本文

凌秋雨, 胡春光, 查日东, 胡晓东, 胡小唐. 基于二维光学点阵形变的面形测量方法[J]. 光学学报, 2018, 38(1): 3.

DOI：10.3788/aos201838.01仪器，测量与计量03

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