首页 > 论文 > 光学学报 > 38卷 > 3期(pp:0312002)

提高多频条纹投影相位提取精度的反向误差补偿法

  • 摘要
  • 论文信息
  • 参考文献
  • 被引情况
分享:

摘要

利用数字条纹投影技术进行三维形貌测量时,精确的相位测量是获取准确三维尺寸的必要保证,而数字投影仪的非线性响应是相位测量最主要的误差来源。根据相移轮廓术的非线性相位误差数学模型,本文提出了一种提高物体相位测量精度和速度的多频条纹反向相位误差补偿方法。该方法通过投影与最高频率相同且具有一定相移量的补偿相移条纹图,获取与初始相位误差大小相等,符号相反的两幅主值相位图,二者平均后使其误差得以抵消,从而得到精确的绝对相位值。文中采用标准平面对提出的方法进行实验验证,并与新提出的HT补偿方法以及典型相位补偿方法进行比较,实验结果表明,相较于其它相位补偿方法,所提方法能有效提高相位测量的精度和速度。最后通过对自由曲面以及表面不连续的物体进行了相位误差补偿,进一步验证了该方法的可行性和有效性。

Newport宣传-MKS新实验室计划
补充资料

DOI:10.3788/aos201838.0312002

作者单位:

    合肥工业大学
    合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

引用该论文

毛翠丽,卢荣胜. 提高多频条纹投影相位提取精度的反向误差补偿法[J].光学学报,2018,38(3):0312002.