表面光学

长春理工大学

为简化主动频率选择表面（FSS）器件结构，提高其谐振频率的操控性能，提出一种利用光电导薄膜光照导电特性控制FSS结构尺寸变化的光控主动FSS。论文从理论角度阐述了FSS结构尺寸与中心谐振频率的关系。以十字带通型光控主动FSS为例，采用CST软件仿真得到光照前后的中心谐振频率由23GHz变为28GHz。采用镀膜、电子束蒸发及光刻等工艺制作出光控主动FSS结构，分析了光电导薄膜中掺杂成分、退火温度、退火时间及光照频率、光照功率等因素对其光电性能的影响。结果显示：调节CdS、CdSe（1:1～5:1）的比例可改变敏感波长；调节CdCl2、InCl3、CuCl2的比例可改变亮暗电阻比，实验中比例为（3.6:2.6:1.3）时效果最佳；退火温度750℃、退火时间30s时达到光电导薄膜光电特性与欧姆接触的峰值。测试结果表明：光照功率200mW/cm2与光照频率0.6μm条件下，光控主动FSS光照前后中心谐振频率从23.8GHz变为28GHz，与仿真结果一致。

王君, 王丽, 刘顺瑞, 王越, 冷雁冰, 孙艳军. 光控主动FSS制作及光电性能研究[J]. 光学学报, 2018, 38(5): 2.  复制并引用该论文