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光学学报
ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图
2018年第38卷第6期3页
基于MEMS技术的新型光纤加速度传感器
录用时间:2017-09-25
论文栏目
光纤光学与光通信
作者单位
1 燕山大学 电气工程学院 河北省测试计量技术及仪器重点实验室
2 河北省秦皇岛市燕山大学
3 河北科技大学
4 燕山大学
论文摘要
研究设计了一种基于光强调制原理和MEMS技术的新型光纤加速度传感器。加速度传感单元为硅质矩形梁,给出了矩形梁弯曲导致的遮光板位移与接收光纤光功率差的关系以及硅质矩形梁中间位置挠度与系统加速度的关系,得到了加速度与光功率差的关系。研究结果表明,设计的光纤加速度传感器在矩形梁中间位置的挠度变化范围为0-10μm时,相应的加速度测量范围为0-120m/s2,最大加速度检测值高达12g。
引用本文
张颖, 吴俊, 魏江南, 金祖武, 姚江淮. 基于MEMS技术的新型光纤加速度传感器[J]. 光学学报, 2018, 38(6): 3. 
DOI:10.3788/aos201838.06光纤光学与光通信03
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