光学设计与制造

为避免仿真分析的繁琐和误差，准确获得能形成高斯型去除函数的各项工艺参数，提高射流抛光的工艺准备效率，提出了一种快速生成高斯型去除函数的实验方法。首先，通过研究倾斜定点入射方式下射流束中心与工件的交点和所形成的材料去除形貌之间的关系，分析出了能产生高斯型去除函数对应的喷嘴高度范围。然后，在确定的工艺参数条件下，添加主轴旋转运动，并微调喷嘴高度进行多次采斑实验。通过分析抛光斑的形态，找到能产生高斯型去除函数对应的喷嘴高度。最后，对高斯型抛光斑进行对称性分析，并以能产生高斯斑的工艺条件进行了动态去除实验。结果表明以高斯斑为基础的动态去除过程具有较高稳定性，不同位置去除率变化量在6.7%以内，能满足超精密光学加工的要求，同时也证明了生成高斯型去除函数的实验方法的高效性和可靠性。

李建, 张连新, 孙鹏飞, 王中昱, 柯瑞. 射流抛光高斯型去除函数的快速生成实验方法[J]. 光学学报, 2018, 38(7): 2.  复制并引用该论文