成像系统倍率高精度检测技术研究 | 网络首发 -- 中国光学期刊网

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光学学报

ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2018年第38卷第7期7页

成像系统倍率高精度检测技术研究

董冠极唐锋王向朝冯鹏郭福东彭常哲

录用时间：2018-01-10

网络首发时间：2018-03-28

论文栏目

仪器，测量与计量

作者单位

上海光机所

论文摘要

针对目前尚无高精度通用倍率测量方法与装置的问题，提出了基于双光纤点衍射干涉仪的成像系统倍率高精度测量方法。通过分析双点光源间距、CCD相机空间位置与点衍射干涉场相位Zernike多项式系数之间的定量关系，得到物面光纤间距和像面光纤像点间距的nm精度测量值，进而完成对倍率的高精度测量。分别进行仿真分析和实验验证，证明了所提出的测量技术的可行性和稳定性，结果表明，倍率测量的扩展不确定度为2.64 ppm。所提出的成像系统倍率高精度测量技术具有测量精度高和测量效率高的特点，且具备高可靠性，可以用于显微物镜、光刻投影物镜等高精度成像系统倍率的超高精度测量。

光学检测倍率 Zernike多项式点衍射干涉

引用本文

董冠极, 唐锋, 王向朝, 冯鹏, 郭福东, 彭常哲. 成像系统倍率高精度检测技术研究[J]. 光学学报, 2018, 38(7): 7.

DOI：10.3788/aos201838.07仪器，测量与计量07

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