大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术研究 | 网络首发 -- 中国光学期刊网

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光学学报

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2018年第38卷第9期4页

大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术研究

白云波周游刘世杰邵建达徐隆波

录用时间：2018-03-01

论文栏目

仪器，测量与计量

作者单位

上海光机所

论文摘要

摘要：为解决应用于高功率激光装置中大口径激光玻璃全口径光学非均匀性难以检测的问题，提出了基于Φ600mm干涉仪的一维子孔径拼接测量技术，基于像素错位误差模拟分析结果，设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台，实现了对角线接近1m的大口径激光玻璃的全口径光学非均匀性拼接检测，并且对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证。实验结果表明，拼接结果平滑无“接痕”，均匀性拼接测量与直接测量结果相对误差优于0.2×10-6，全口径均匀性重复性优于0.4×10-7，单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为0.2×10-6。

关键词：光学非均匀性拼接检测激光玻璃

引用本文

白云波, 周游, 刘世杰, 邵建达, 徐隆波. 大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术研究[J]. 光学学报, 2018, 38(9): 4.

DOI：10.3788/aos201838.09仪器，测量与计量04

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