机器视觉

激光诱导击穿光谱技术具有原位、快速、非接触、多元素探测的优点，是现场分析领域的研究热点之一。激光诱导击穿光谱信号的稳定性受激发光在目标表面聚焦准确性的影响很大，在海底热液喷口烟囱体探测等应用现场，难以通过对目标样品进行预处理这种常规方法来提高对焦精度，一套快速、高精度对焦系统对LIBS光谱探测有重要意义。将显微自动对焦系统结合图像对比度评价方法应用于激光诱导击穿光谱探测系统中以提升对焦的精度，以双色激光辅助对焦方法扩大寻焦范围并加快对焦速度。测试证明，两种方法结合可以实现2400 的对焦范围和20 对焦精度，并明显提升对焦速度，有望提高现场探测时的LIBS信号质量和光谱采集效率。

蒋章伟, 燕艳, 李阳, 毕云峰. 大范围高精度显微激光诱导击穿光谱对焦系统[J]. 光学学报, 2018, 38(12): 4.  复制并引用该论文