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光学学报
ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图
2019年第39卷第01期3页
基于飞秒光学频率梳相关探测的绝对测距研究
录用时间:2018-06-11
论文栏目
仪器,测量与计量
作者单位
1 天津大学
2 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
3 天津大学精密仪器与光电子工程学院
4 天津大学精密测试技术与机器国家重点实验室
论文摘要
高精度现场可溯源的绝对距离测量技术在大尺寸工业生产、航空航天和机械制造领域具有广泛应用。本文提出了一种基于飞秒光学频率梳相关探测的绝对距离测量方法,通过检测测量信号与参考信号产生的相关条纹,实现绝对距离测量。本文研究了一阶相关函数的测量模型,建立了基于非平衡迈克尔逊干涉光路的测量系统,通过拟合一阶相关函数包络并提取其峰值精确判断脉冲重合位置,获得被测距离。设计并配合长导轨进行了3m的绝对距离测量实验,并与商用干涉仪进行实时比对。本文基于大量的实验数据,针对环境因素及系统误差的影响进行了分析,并进行了误差消除与补偿。实验结果表明,该方法在长期测量中,在3m的测量范围内,最大测量误差为5.85 μm,测量标准差2.20 μm。
引用本文
王一霖, 杨凌辉, 林嘉睿, 刘洋, 邾继贵. 基于飞秒光学频率梳相关探测的绝对测距研究[J]. 光学学报, 2019, 39(01): 3. 
DOI:10.3788/aos201939.01仪器,测量与计量03
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