红外热成像甲烷气体探测系统双通带滤波器件的研制

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光学学报

ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2018年第38卷第12期1页

红外热成像甲烷气体探测系统双通带滤波器件的研制

付秀华 ¹刘文奇 ²尹士平 ³刘克武 ³刘冬梅 ⁴

录用时间：2018-06-22

论文栏目

薄膜

作者单位

¹ 长春理工大学

² 长春理工大学光电工程学院

³ 广东先导先进材料股份有限公司

⁴ 长春理工大学光电工程学院

论文摘要

现有的甲烷红外热成像探测系统仅能探测甲烷单个特征吸收峰，而同时探测两个特征吸收峰能有效提升系统灵敏度。基于甲烷红外吸收光谱，通过光谱拆分法实现了双通带滤波器件的设计。通过调节离子源束流改善了ZnS膜层的折射率，消除了背景噪声。通过引入薄层并使其可控，降低了非周期窄带通膜系的制备难度。经多次实验测试与分析，所研制的双通带滤波器件在3.31μm和7.67μm透过率分别为89.25%、81.97%，达到了提高探测系统灵敏度的目的。

光学薄膜滤波器件红外热成像拆分技术聚集密度膜层敏感度

引用本文

付秀华, 刘文奇, 尹士平, 刘克武, 刘冬梅. 红外热成像甲烷气体探测系统双通带滤波器件的研制[J]. 光学学报, 2018, 38(12): 1.

DOI：10.3788/aos201838.12薄膜01

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