光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法

网络首发

光学学报

ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2019年第39卷第02期1页

光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法

刘向阳 ¹

录用时间：2018-07-17

论文栏目

几何光学

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所

论文摘要

折射式微透镜可用于提高光电探测器的填充因子和外量子效率。为了进一步提高入射到光敏元上的光能，针对光刻胶热熔法制备的微透镜的非球面面形，提出了一种结合有限元光线追迹和拉格朗日乘子法的新方法。给定焦距，用该算法可以自动计算出所需的微透镜面形。为了验证算法的精度，对圆形孔径的焦斑RMS半径进行了模拟和理论计算，二者较为一致。对三阶有限元光线追迹的点列图误差进行了估计。做为算法的实际应用，计算了汇聚到320×256紫外探测器光敏元上的能量集中度，比较了具有不同导角半径的方形孔径蓝宝石微透镜的效率。结果表明，具有6 μm导角半径的方形孔径微透镜的能量集中度较高，为96％。

光刻胶热熔有限元光线追迹微透镜阵列非球面

引用本文

刘向阳. 光刻胶热熔法制备的非球面微透镜的设计方法[J]. 光学学报, 2019, 39(02): 1.

DOI：10.3788/aos201939.02几何光学01

PDF 全文：点击此处查看

网络首发

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索

网络首发

浏览排行

下载排行

关于本站 Cookie 的使用提示

全站搜索