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一种非线性相位误差的全场补偿方法

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摘要

提出了一种新的非线性相位误差的全场补偿方法。在相位测量轮廓术中,参考面相位的准确度直接影响物体三维测量精度,投影仪Gamma非线性效应会导致相位中含有非线性相位误差。本文通过对参考面相位的多次测量,提高参考面本身的解相精度,并提取出一个逼近理想值的期望相位面,用该期望相位面检测出非线性相位误差。大量实验发现展开相位与非线性相位误差呈一一对应关系,因此可用参考面的全场展开相位建立对应的非线性相位误差查找表。重构待测物体时,可直接用物体展开相位值在查找表中查找对应的非线性相位误差,并以此对物体展开相位进行非线性相位误差的全场补偿。实验用所提方法重构已知具体高度的平面,平均绝对误差的最大值从0.48mm降低到0.06mm,均方根误差的最大值从0.55mm减小到0.07mm, 验证了该方法的可行性和有效性。

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补充资料

DOI:10.3788/aos201939.0312001

作者单位:

    四川大学电子信息学院光电科学技术系
    四川大学电子信息学院
    四川大学电子信息学院
    四川大学电子信息学院
    四川大学电子信息学院
    四川大学电子信息学院光电科学技术系
    四川大学电子信息学院光电科学技术系

引用该论文

蔡文娟,曹益平,付光凯,王亚品,万莹莹,李城梦,王璐. 一种非线性相位误差的全场补偿方法[J].光学学报,2019,39(03):0312001.