光刻投影物镜琼斯光瞳检测方法 | 网络首发 -- 中国光学期刊网

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光学学报

ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2019年第39卷第03期4页

光刻投影物镜琼斯光瞳检测方法

孟泽江 ¹李思坤 ¹王向朝 ²步扬 ²杨朝兴 ²

录用时间：2018-09-05

网络首发时间：2018-11-22

论文栏目

仪器，测量与计量

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所

² 中科院上海光机所

论文摘要

本文提出了一种直接测量琼斯光瞳的光刻投影物镜偏振像差检测方法。首先推导了基于琼斯矩阵的检测方程，建立了光强矢量与琼斯矩阵克氏积的线性关系。然后利用该线性关系直接检测琼斯光瞳形式的偏振像差。以一个典型的光刻投影物镜的琼斯光瞳为检测对象进行了仿真验证，仿真中考虑了偏振元件与图像传感器的实际参数误差，并与传统穆勒矩阵椭偏法转换得到的琼斯光瞳进行了比较。对于同一种典型的偏振元件旋转角组合，与传统测量方法相比，本方法的偏振衰减和偏振相位延迟的误差均有明显降低。仿真结果表明，本文提出的光刻投影物镜琼斯光瞳检测方法在不增加现有测量装置复杂度的基础上，明显提高了琼斯光瞳形式偏振像差的测量精度。

光刻偏振像差检测克氏积琼斯光瞳

引用本文

孟泽江, 李思坤, 王向朝, 步扬, 杨朝兴. 光刻投影物镜琼斯光瞳检测方法[J]. 光学学报, 2019, 39(03): 4.

DOI：10.3788/aos201939.03仪器，测量与计量04

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