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一种全息光栅干涉条纹三维锁定系统的设计

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摘要

全息曝光系统中干涉条纹的稳定性直接影响光栅掩膜质量。研究了参考干涉条纹与光栅条纹之间的关系,得到了光栅相位、倾斜度和周期的检测方法。为提高光栅曝光系统的稳定性,设计了一套全息光栅三维锁定系统。通过对参考干涉条纹的检测、数据反馈和光路微调,构造了一个闭环反馈控制系统,实现了对光栅条纹相位、倾斜度和周期的实时监控。实验结果表明三维条纹锁定系统在整个曝光区域内提高了干涉条纹稳定性,缩短了光栅曝光前的稳定时间,进一步提高了光栅曝光对比度,有利于提高大口径全息光栅曝光质量。

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补充资料

DOI:10.3788/aos201939.0405001

作者单位:

    苏州大学
    苏州大学信息光学工程研究所
    苏州大学信息光学工程研究所
    苏州市职业大学

引用该论文

钱国林,吴建宏,李朝明,成珏飞. 一种全息光栅干涉条纹三维锁定系统的设计[J].光学学报,2019,39(04):0405001.