基于非对称圆形共振腔MIM波导结构带阻滤波器集成光学
1 广西 桂林电子科技大学信息与通信学院
2 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西 桂林 541004
3 桂林电子科技大学
本文提出了一种金属-绝缘体-金属(MIM)非对称圆形结构,该结构由两个圆形腔体,一个波导和连接两个圆形共振腔与波导的矩形口径组成。利用共振腔的局域作用加强表面等离子体激元的耦合作用,获得了较好的强透射现象。采用有限时域差分方法研究了该结构中的圆形谐振腔的半径、两个圆的圆间距和圆形共振腔的个数对强透射的影响。结果表明,当非对称圆形共振腔半径为100nm、圆间距为200nm,该结构有很好的强透射现象。通过优化这些主要参数,可实现平均阻带宽度1000nm,工作范围可增大到2500nm,这说明该结构具有更好的滤波功能。该结构在高密度纳米等离子体集成电路上具有重要的应用潜力。
肖功利, 窦婉滢, 杨宏艳, 韦清臣, 徐俊林, 杨秀华, 张开富, 杨寓婷, 李海鸥, 傅涛, 张法碧, 孙堂友. 基于非对称圆形共振腔MIM波导结构带阻滤波器[J]. 光学学报, 2019, 39(05): 1.
DOI:10.3788/aos201939.05集成光学01