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光学学报
ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图
2019年第39卷第04期8页
基于图像灰度信息的直线位移测量
录用时间:2018-11-18
论文栏目
仪器,测量与计量
作者单位
1 清华大学机械工程系
2 中国人民解放军火箭军研究院
3 清华大学机械工程系机电所IC制造装备及超精密测控研究室
论文摘要
本文提出了一种新型基于视觉的位移测量方法,应用于直线位移测量。所提方法通过在龙门架上固定灰度呈正弦规律变化的靶标,使用固定在直线运动平台上的相机实时采集靶标图像,进而建立图像各像素点灰度值与直线运动位移间的映射函数模型。结合该函数模型与在图像上均匀选择的固定检测点,即可通过数值方法解算直线运动平台的位移。本文通过蒙特卡罗仿真对所提方法进行分析,证明了其可行性与合理性。同时,针对所选取的均匀固定检测点的拓扑结构(检测点的个数和间距)这一对测量结果有重要影响的参数进行了参数化研究,分析其对于位移测量精度的影响。直线位移测量实验结果表明,在10mm的位移测量范围下,该方法测量误差的标准差为4μm。
引用本文
刘雪玲, 胡金春, 佟浩, 葛爱学, 杜胜武, 朱煜. 基于图像灰度信息的直线位移测量[J]. 光学学报, 2019, 39(04): 8. 
DOI:10.3788/aos201939.04仪器,测量与计量08
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