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熔石英光学元件亚表面缺陷三维重构技术研究

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摘要

熔石英光学元件的亚表面缺陷直接影响着其成像质量及激光损伤阈值等指标。相比缺陷的二维截面大小以及深度信息,亚表面缺陷三维轮廓及缺陷体积的定量检测结果可以更为准确地评估熔石英光学元件的加工质量。结合共聚焦显微镜的成像原理,使用共聚焦显微镜进行了熔石英样品层析扫描实验。通过对亚表面缺陷图像特点的分析,提出了适用熔石英元件亚表面缺陷的三维重建算法。提出的算法在亚表面缺陷重建的效率与精度上均优于其他三维重建方法。根据重建后缺陷的统计结果,定量地获得了熔石英样品亚表面缺陷的完整三维信息。

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补充资料

DOI:10.3788/aos202040.0216001

作者单位:

    浙江大学光电科学与工程学院
    浙江大学光电科学与工程学院
    浙江大学光电科学与工程学院
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    China Academy of Engineering Physics
    浙江大学

引用该论文

张健浦,孙焕宇,王狮凌,黄进,周晓燕,王凤蕊,Liu Hongjie,刘东(浙大. 熔石英光学元件亚表面缺陷三维重构技术研究[J].光学学报,2020,40(02):0216001.