偏振和位相调控反射镜的设计与制备 | 网络首发 -- 中国光学期刊网

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光学学报

ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2020年第40卷第15期1页

偏振和位相调控反射镜的设计与制备

余德明 ¹段微波 ²李大琪 ³刘保剑 ³陈刚 ³洪瑞金 ⁴

录用时间：2019-11-19

论文栏目

薄膜

作者单位

¹ 上海理工大学

² 中国科学院上海技术物理研究所

³ 上海技术物理研究所

⁴ 上海理工大学光学仪器研究所

论文摘要

本文运用等效层理论，设计了一种目标波长分别为780nm、810nm、850nm，入射角为45°条件下使用的反射镜，在保证膜层高反射率的同时实现对反射镜偏振和位相的调控。为了在较宽波段上满足平均反射率高的要求，实验选用金属银和五氧化二钽、二氧化硅作为光学薄膜制备的材料。采用电子束蒸发和热蒸发方式并配合石英晶体振荡监控膜厚等工艺，在JGS-1材料基底上获得了在500～1600nm波段范围内平均反射率大于95%，目标波长的消光比分别优于3000:1、5000:1和7000:1的反射镜。该反射镜还满足空间环境下量子通信应用的可靠性要求。

光学薄膜反射镜偏振和位相

引用本文

余德明, 段微波, 李大琪, 刘保剑, 陈刚, 洪瑞金. 偏振和位相调控反射镜的设计与制备[J]. 光学学报, 2020, 40(15): 1.

DOI：10.3788/aos202040.15薄膜01

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