深紫外光学系统宽温度无热化设计的方法光学设计与制造
环境温度的变化引起光学系统产生热离焦现象,导致系统像质不稳定。现有无热化方法在深紫外波段内,由于材料的限制,使光学系统的无热化过程和结果变得十分复杂。因此,本文提出了运用拆分系统设计和单层衍射光学元件相结合的方法实现深紫外光学系统的无热化设计。该方法首先通过消热差、消色差方程组求解结果对深紫外光学系统进行拆分再组合简化了无热化设计过程,然后通过在组合系统中加入单层衍射光学元件简化设计结果。采用该方法对一焦距为110mm,F数为3.5,在温度范围-60℃~100℃内的深紫外侦察相机镜头实现无热化设计,所得系统在奈奎斯特频率18.5lp/mm处,调制传递函数均大于0.65。结果表明该方法能够解决中长焦紫外透射式光学系统在宽温度范围内的热离焦问题,并且提升了系统光学性能,最终实现从设计过程到结果的简单化。
高旭东, 崔庆丰, 郑汉青, 胡洋, 孙林, 王琦. 深紫外光学系统宽温度无热化设计的方法[J]. 光学学报, 2020, 40(17): 1.
DOI:10.3788/aos202040.17光学设计与制造01