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退火对分步溅射制备铜锌锡硫薄膜的影响

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摘要

摘要 分步溅射ZnS、SnS、CuS三个二元硫化物靶制备铜锌锡硫(CZTS)薄膜,分别在400℃、450℃、500℃、550℃和600℃进行退火。研究退火温度对薄膜晶体结构、薄膜组份、表面形貌及光学特性的影响。结果表明:退火温度为400℃时,CZTS薄膜中含有Cu2S及SnS等多种二次相,随着退火温度升高,二次相的种类逐渐减少,当退火温度为550℃时,薄膜的表面平整致密,CZTS薄膜的二次相种类最少。当退火温度为600℃时,薄膜表面变的粗糙,二次相增多。

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DOI:10.3788/lop54.091601

作者单位:

    云南师范大学太阳能研究所
    云南师范大学
    云南师范大学太阳能研究所
    云南师范大学太阳能研究所
    云南师范大学太阳能研究所
    云南师范大学太阳能研究所
    云南师范大学太阳能研究所

引用该论文

赵其琛,郝瑞亭,刘思佳,杨敏,陆熠磊,刘欣星,常发冉. 退火对分步溅射制备铜锌锡硫薄膜的影响[J].激光与光电子学进展,2017,54(9):091601.