首页 > 论文 > 激光与光电子学进展 > 56卷 > 06期(pp:062402)

化学抛光对表面钝化和异质结太阳电池的影响

  • 摘要
  • 论文信息
  • 参考文献
  • 被引情况
分享:

摘要

作为一种新型高效的太阳电池,硅异质结太阳电池通过在制绒后的金字塔硅衬底表面沉积非晶硅薄膜制备而成。针对金字塔沟壑处在非晶硅沉积时容易出现外延生长的问题,采用化学抛光液CP133对硅片表面进行了抛光处理。结果表明,抛光使得金字塔底部区域形貌由“V”型变成了“U”型,此形貌明显改善了a-Si:H/c-Si界面钝化效果。研究发现抛光溶液温度低于30℃ 时难以发挥腐蚀作用,但当提高溶液的起始温度至35℃ 时,获得了较好的抛光效果。为选择合适的金字塔尺寸范围,分别对2wt%和1wt%浓度NaOH溶液制绒的硅片进行了抛光时间的实验,研究了其对硅片表面形貌、钝化特性及电池性能的影响。结果表明,采用1wt%NaOH浓度制绒的电池性能更好。即具有尺寸在5-10μm金字塔的硅衬底更适合。

Newport宣传-MKS新实验室计划
补充资料

DOI:10.3788/lop56.062402

作者单位:

    菏泽学院
    南开大学光电子薄膜器件研究所
    天津 南开大学光电子薄膜技术与器件研究所

引用该论文

姜元建,张晓丹,赵. 化学抛光对表面钝化和异质结太阳电池的影响[J].激光与光电子学进展,2019,56(06):062402.