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多形貌多周期微纳米复合结构制备及表征

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摘要

我们利用传统紫外光刻技术与激光双光束干涉光刻技术相结合的方法以及激光双光束干涉连续两次曝光的方法,制备了具有多种形貌和周期的微纳米复合结构,解决了利用传统激光干涉加工技术制备微结构的形貌和周期单一的问题。通过优化实验条件,我们制备出了微米条形光栅、矩形、圆形和六边形点阵与纳米类余弦形光栅相结合的微纳米复合结构;通过在玻璃/银膜/CH3NH3PbI3结构中引入微纳米复合光栅结构,使得CH3NH3PbI3的吸收在可见光范围内得到明显的增强,这主要归因于微米光栅的散射效应和纳米光栅诱导银膜/CH3NH3PbI3界面表面等离子激元的电场增强效应的共同作用。

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补充资料

DOI:10.3788/lop56.120501

作者单位:

    华侨大学
    华侨大学
    华侨大学
    华侨大学
    华侨大学
    华侨大学
    集美大学

引用该论文

王康,金玉,刘昱玮,李志祥,骆昕,吴志军,相春. 多形貌多周期微纳米复合结构制备及表征[J].激光与光电子学进展,2019,56(12):120501.