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硫系阵列光学元件可模压性的仿真与分析

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摘要

摘要 本文利用精密光学玻璃模压技术模压材料为硫系玻璃Ge23Se67Sb10的微透镜阵列。为了预测微透镜阵列玻璃模压成形过程中微结构工艺参数,使用高级非线性有限元程序软件MSC.MARC,建立了微透镜阵列有限元分析模型。对微透镜阵列的模压成型过程中不同微结构高度下不同微结构宽度对等效米塞斯应力进行有限元分析计算,分析了硫系玻璃Ge23Se67Sb10在模压微透镜阵列的过程中,相同微结构宽度不同微结构高度对硫系玻璃微透镜阵列模压成型后等效米塞斯应力的影响,得出等效米塞斯应力趋势,从而获得适合模压的硫系玻璃Ge23Se67Sb10阵列光学元件的微结构宽度与高度的比值。仿真结果表明,当微结构高度越小时,等效米塞斯应力越小;硫系玻璃微透镜阵列的等效米塞斯应力由中心到边缘逐渐增大,边缘处的等效米塞斯应力最大;当微结构高度和宽度的比值超过0.322时模压产生的等效米塞斯应力将大幅增加。

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补充资料

DOI:10.3788/lop56.202201

作者单位:

    长春理工大学光电工程学院
    长春理工大学光电工程学院
    长春理工大学光电工程学院
    长春理工大学
    长春理工大学光电工程学院
    长春理工大学光电工程学院
    长春理工大学光电工程学院
    长春理工大学光电工程学院

引用该论文

王蕾,薛常喜,贾孟,刘悦,李闯,兰喜瑞,王伦,吴百融. 硫系阵列光学元件可模压性的仿真与分析[J].激光与光电子学进展,2019,56(20):202201.