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大口径高次非球面补偿检测方法的研究

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摘要

大口径高次非球面的加工检测中是光学制造的难题之一。结合一块有效通光口径900mm、顶点曲率半径2580mm的高次非球面凹反射镜,推导高次法线像差公式,并拟合其高次非球面的法线像差。基于三级像差理论,对高次非球面的法线像差补偿,求解其系统初始结构,设计了球面波和平面波补偿系统。使用Zemax软件分析与优化,并且对两套补偿系统进行了对比。从设计过程看,此方法较之前通过二次比较非球面方便;从设计结果看,此方法满足要求,能够有效补偿非球面法线像差。经研磨后,用4D干涉仪实际检测镜面的面型精度RMS≤0.0236λ 。

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补充资料

DOI:10.3788/lop57.072203

作者单位:

    合肥工业大学光电技术研究院
    合肥工业大学
    合肥工业大学
    合肥工业大学
    合肥工业大学

引用该论文

赵础矗,胡明勇,孙东起,刘晨凯,李昭阳. 大口径高次非球面补偿检测方法的研究[J].激光与光电子学进展,2020,57(07):072203.