首页 > 论文 > 激光与光电子学进展 > 57卷 > 23期(pp:231404)

基于CO2激光加工的法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备 [Early Posting]

  • 摘要
  • 论文信息
  • 参考文献
  • 被引情况
分享:

摘要

本工作主要研究了基于CO2激光微加工实现法布里-珀罗(FP,Fabry-Pérot,)光学微腔阵列的制备。首先通过CO2激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析表明,凹面结构可近似于高斯曲面,深度t的范围为0.042-0.64μm,半高宽d的范围为11.30-16.60μm;在结构底部可近似为一曲率半径为R的球面。随后通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列:采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔。最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生。

广告组1 - 空间光调制器+DMD
补充资料

DOI:10.3788/lop57.231404

作者单位:

    太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室
    山西省 太原市 太原理工大学 新型传感器与智能控制教育部重点实验室
    太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室
    太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室
    山西省 太原市 太原理工大学 新型传感器与智能控制教育部重点实验室

引用该论文

贾卓楠,张婷婷,栗正华,花双全,王文杰. 基于CO2激光加工的法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备[J].激光与光电子学进展,2020,57(23):231404.