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低成本二维激光扫描投影技术研究 [Early Posting]

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摘要

在微型激光投影技术领域中,MEMS激光扫描投影技术是当前的热门方向,传统的方案是采用单体式二维MEMS微镜作为扫描机构,其制造工艺复杂且在工作过程中存在失效率高的现象。本文提出采用成本更低廉的两个一维静电式MEMS微镜进行封装组合得到二维扫描器件模组,通过对器件的设计和制造工艺的研究,最终研制出MEMS二维扫描器件原型,整个器件模块结构紧凑、制造工艺简单、成本低、可靠性高且易于批量制造。实验结果显示,MEMS二维扫描器件模组X轴方向在驱动频率28.25kHz、电压160V时扫描光学角度可达48°,Y轴方向在驱动频率3.8kHz、电压160V时扫描光学角度可达12.5°,光学性能可媲美单体式二维MEMS微镜,满足微型激光投影领域使用需求。

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补充资料

DOI:10.3788/lop58.012301

作者单位:

    西安工业大学
    西安工业大学
    西安工业大学
    贵州大学大数据与信息工程学院
    西安工业大学光电工程学院微系统研究所

引用该论文

程进,周顺,徐乃涛,陆安江,刘卫国. 低成本二维激光扫描投影技术研究[J].激光与光电子学进展,2021,58(01):012301.