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在微型激光投影技术领域中，MEMS激光扫描投影技术是当前的热门方向，传统的方案是采用单体式二维MEMS微镜作为扫描机构，其制造工艺复杂且在工作过程中存在失效率高的现象。本文提出采用成本更低廉的两个一维静电式MEMS微镜进行封装组合得到二维扫描器件模组，通过对器件的设计和制造工艺的研究，最终研制出MEMS二维扫描器件原型，整个器件模块结构紧凑、制造工艺简单、成本低、可靠性高且易于批量制造。实验结果显示，MEMS二维扫描器件模组X轴方向在驱动频率28.25kHz、电压160V时扫描光学角度可达48°，Y轴方向在驱动频率3.8kHz、电压160V时扫描光学角度可达12.5°，光学性能可媲美单体式二维MEMS微镜，满足微型激光投影领域使用需求。

程进, 周顺, 徐乃涛, 陆安江, 刘卫国. 低成本二维激光扫描投影技术研究[J]. 激光与光电子学进展, 2021, 58(01): 1.  复制并引用该论文