三通道调频连续波激光干涉位移测量系统 | 网络首发 -- 中国光学期刊网

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激光与光电子学进展

ESCI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图

2021年第58卷第03期4页

三通道调频连续波激光干涉位移测量系统

盛启明 ¹郑刚 ¹张雄星 ¹孙彬 ¹井李强 ¹韩园 ¹

录用时间：2020-07-01

网络首发时间：2020-12-23

论文栏目

作者单位

¹ 西安工业大学

论文摘要

针对传统的频分多路复用调频连续波激光干涉位移传感器存在谐波串扰和动态测量范围较小的问题，研制了一种具有三个独立法布里-珀罗干涉仪探测光路的三通道位移测量系统，使用多芯片处理提高运算速度，并利用信号线等长和软件同步控制方法解决了各独立通道测量不同步的问题。实验结果表明，各通道对1mm/s运动目标的同步性测量误差仅为0.46nm，600mm行程位移测量结果的误差标准差小于3nm，线性拟合系数在0.99997以上，该系统可以实现三维运动目标位移测量。

调频连续波位移测量三通道采样同步法布里-珀罗干涉仪

引用本文

盛启明, 郑刚, 张雄星, 孙彬, 井李强, 韩园. 三通道调频连续波激光干涉位移测量系统[J]. 激光与光电子学进展, 2021, 58(03): 4.

DOI：10.3788/lop58.031204

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