15

本文针对微小型光学元件尺寸的自动化测量设计了一种视觉测量系统。先介绍了检测系统的组成和软件架构，再分析解决了关键检测难点：（1）提出了使用穹顶光和同轴光的暗场照明方案；（2）针对边缘重影，使用不均匀光照补偿法，使用亮度差值消除重影；（3）针对崩边引起的边缘局部亮度过高且不均，使用改进的Otsu算法分割出边缘局部再提取边缘。最后利用最小二乘法重建元件边缘计算尺寸。实验表明：改进后的算法测量长和宽的平均误差分别为1.5μm和4.1μm，标准差为1.5μm和3.4μm，测量不确定度为0.5μm和1.1μm，受光照、重影和崩边等的影响小，准确度和鲁棒性更高。系统还具有批量导入各类元件检测标准、显示数值计算结果和图像标注的功能，界面清晰友好，能够促进生产自动化和检测系统智能水平的提高。

赵美丹, 余桂英, 瞿永顺, 林瑞杰, 林敏. 微小型光学元件尺寸的视觉测量系统研制[J]. 激光与光电子学进展, 2021, 58(08): 6.  复制并引用该论文