测量与计量

上海光机所

高功率激光系统中，光学元件中频波面误差采用功率谱密度（PSD）分布评估。使用干涉仪对中频波面误差检测时，干涉仪的低通滤波特性会造成波面中频信息的丢失，对中频误差评估造成影响。为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律，获得相对真实的PSD分布，分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品，对一维实测PSD曲线进行了对比分析。实验结果表明不同干涉仪对中高频信息的响应度相差较大，干涉仪分辨率越高，响应度也越高。利用仪器传递函数（ITF）曲线对实测PSD分布进行了修正，获得了较为真实的PSD分布。但在某些频率范围内，标定的ITF曲线和实际响应出现差异，造成PSD修正值可信度下降。

杨相会, 沈卫星, 张雪洁, 马晓君. 不同干涉仪检测光学元件功率谱密度比较[J]. 中国激光, 2016, 43(9): 2.  复制并引用该论文