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用于位相缺陷检测的动态泰曼干涉仪 [Early Posting]

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摘要

为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、动态检测,设计了一种动态泰曼干涉仪。该干涉仪采用短相干激光器结合迈克尔逊干涉结构产生一对相位延迟的正交偏振光作为光源,通过匹配偏振型泰曼干涉仪干涉腔的相位差,补偿参考光与测试光之间的位相延迟。利用偏振相机瞬时采集四幅移相量依次相差 的干涉图,通过移相算法即可求解得到位相缺陷的信息。利用平面波角谱理论进行仿真,分析了二次衍射对测量结果的影响;利用琼斯矩阵法分析了偏振器件误差对测量结果的影响。实验检测了一块激光毁伤的光学平板,测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比,其相对误差为2.4%。此外,采用所述方法对强激光系统中光学平晶的位相疵病进行检测,测试结果为199.2nm(PV)。结果表明,该干涉仪能够有效应用于光学元件位相缺陷的检测。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201744.1206004

作者单位:

    南京理工大学先进发射协同创新中心
    南京理工大学
    南京理工大学电子工程与光电技术学院
    南京理工大学电光学院

引用该论文

马云,陈磊,朱文华,刘一鸣,李建欣. 用于位相缺陷检测的动态泰曼干涉仪[J].中国激光,2017,44(12):1206004.