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自由曲面干涉仪中自适应零位补偿器间距标定

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摘要

研究了自适应补偿器(Adaptive null compensator, ANC)中两大补偿器可变形镜(Deformable Mirror,DM)和部分补偿镜(Partial null optics, PNO)之间的轴向距离标定技术,提出了一种多零位约束(Multi-null constraint, MNC)方法,利用一块校准镜,通过DM形变实现不同位置的零位检测,从而构建多个测量方程用以限制误差耦合,实现ANC空间间距自标定。通过仿真和实验验证了该标定方法的精度。该方法摒弃了外部直接测量手段,使得ANC和整体干涉仪的集成化成为可能。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201845.1104005

作者单位:

    安徽大学
    浙江大学
    安徽大学,物理与材料科学学院,光电信息获取与控制教育部重点实验室
    安徽大学
    合肥 安徽大学物理与材料科学学院

引用该论文

张磊,李东,周胜,李劲松,俞本. 自由曲面干涉仪中自适应零位补偿器间距标定[J].中国激光,2018,45(11):1104005.