首页 > 论文 > 中国激光 > 46卷 > 02期(pp:0203001)

飞秒激光作用下金膜的微观特性变化

  • 摘要
  • 论文信息
  • 参考文献
  • 被引情况
分享:

摘要

用磁控溅射的方法在石英基底上制备了Au膜,结合X射线衍射仪、双束场发射扫描电镜、原子力显微镜等技术手段,研究了Au膜在近损伤阈值飞秒脉冲激光辐照下的物相结构、表面形貌的变化。结果表明,磁控溅射制备金膜为(111)面取向生长的薄膜;近损伤阈值激光辐照能量首先使被辐照区Au膜形成大晶粒,并由(111)单一取向变为多晶结构;Au膜晶粒尺寸的增加导致表面粗糙度的增加。本论文的实验结果为明确Au膜在飞秒激光作用下的损伤过程及后期应用提供了依据。

Newport宣传-MKS新实验室计划
补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0203001

作者单位:

    上海光机所
    本所
    中国科学院上海光机所
    中国科学院上海光学精密机械研究所
    中科院上海光机所
    中国科学院上海光学精密机械研究所

引用该论文

崔云,张晗宇,赵元安,朱美萍,晋云霞,邵建达. 飞秒激光作用下金膜的微观特性变化[J].中国激光,2019,46(02):0203001.