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高精度位置测量系统硬件在环仿真

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摘要

光刻机中运动台的定位精度直接影响光刻机特征线宽,而位置测量系统的性能是运动台实现高精度定位的关键。本文设计了一种基于二维光栅的高精度位置测量系统的硬件在环仿真平台,通过研究二维光栅的测量模型以及仿真平台中数据传输和计算的过程,分析编程实现测量模型的过程中产生误差的原因,并使用该仿真平台测试模型的精度和运算时间。结果表明,在计算频率为20KHz时,测量模型的程序实现精度优于0.79 nm,测量机箱引起的误差为8.84E-7 nm。该仿真平台能够有效的检测基于二维光栅的测量模型在程序实现的过程中产生的误差,测试模型运算时间。利用该仿真平台能够缩短高精度位移测量系统的研发周期,降低研发成本。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0204001

作者单位:

    桂林电子科技大学
    桂林电子科技大学
    桂林电子科技大学
    上海微电子装备(集团)股份有限公司
    上海微电子装备(集团)股份有限公司

引用该论文

张文涛,杜浩,熊显名,谢仁飚,王献英. 高精度位置测量系统硬件在环仿真[J].中国激光,2019,46(02):0204001.