高效率凸面光栅研制微纳光学
1 苏州大学光电科学与工程学院
2 苏州大学信息光学工程研究所
3 苏州大学现代光学技术研究所
根据可见/近红外波段的遥感需求,采用严格耦合波理论分析了凸面闪耀光栅的衍射特性,为实现可见/近红外波段(0.4μm -0.9μm)的1级衍射效率大于40%,需要控制闪耀角在5.9°-7.1°之间,同时分析了光栅结构对衍射效率的影响。实验上采用全息光刻-离子束刻蚀法制作了中心周期为2.45μm,曲率半径51.64mm,口径17mm的凸面闪耀光栅。为了获得理想的像质,采用4米光路进行全息光刻,制作了高质量的光刻胶光栅掩模;采用球面遮挡板结合转动扫描刻蚀工艺,成功研制了闪耀角为6.4°,顶角为141°的高效率凸面闪耀光栅。实验测试表明1级衍射效率在整个可见/近红外波段大于40%,在闪耀波长处的1级衍射效率大于75%。
刘全, 吴建宏, 郭培亮, 陈新华. 高效率凸面光栅研制[J]. 中国激光, 2019, 46(03): 1.
DOI:10.3788/cjl201946.03微纳光学01