大口径光学元件功率谱密度的拼接干涉检测 | 网络首发 -- 中国光学期刊网

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2019年第46卷第02期8页

大口径光学元件功率谱密度的拼接干涉检测

刘昂 ¹何宇航 ²李强 ²高波 ²石琦凯 ²柴立群 ²许乔 ²

录用时间：2018-09-28

网络首发时间：2018-11-22

论文栏目

测量与计量

作者单位

¹ 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

² 成都精密光学工程研究中心

论文摘要

为实现大口径光学元件波前功率谱密度（PSD）的高精度、低成本检测，提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的检测方法及评价手段；提出了特征识别与相关运算相结合的子孔径配准方法；设计了拼接误差校正算法并建立了拼接数学模型。采用口径620mm×450mm光学元件开展了5次拼接检测实验，比较了拼接检测与全口径直接检测结果，两者分布一致，波前畸变PV值偏差不大于0.012λ，波前PSD的rms值偏差不大于0.03nm。实验结果表明该方法可用于小口径干涉仪检测超大口径光学元件的波前PSD。

测量子孔径拼接相关匹配功率谱密度波前测量

引用本文

刘昂, 何宇航, 李强, 高波, 石琦凯, 柴立群, 许乔. 大口径光学元件功率谱密度的拼接干涉检测[J]. 中国激光, 2019, 46(02): 8.

DOI：10.3788/cjl201946.02测量与计量08

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