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光刻机照明系统光瞳特性参数评估算法研究

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摘要

光刻机整体性能与照明光瞳特性密切相关。针对光刻机照明系统的实际应用需求,本研究提出了一种光瞳特性参数的评估算法。该算法通过对光瞳强度分布的转换,可以在不同照明模式下同时计算光瞳椭圆度、X方向光瞳极平衡性、Y方向光瞳极平衡性和四象限光瞳极平衡性等多种光瞳特性参数。以一种28nm节点扫描光刻机照明系统的中继镜组作为实例,对其在传统照明模式下进行光瞳特性参数计算分析。结果显示全视场光瞳椭圆度最大值为0.95%,X方向和Y方向光瞳极平衡性最大值分别为0.18%和0.19%,四象限光瞳极平衡性最大值为0.66%,均在28nm节点扫描光刻机实际指标需求范围内。算法在光学设计阶段能快速评估光瞳性能。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0304007

作者单位:

    中科院上海光学精密机械研究所
    中国科学院上海光学精密机械研究所
    中科院上海光学精密机械研究所
    中科院上海光学精密机械研究所
    上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
    中科院上海光机所

引用该论文

甘雨,张方,朱思羽,龚爽,黄惠杰,杨宝. 光刻机照明系统光瞳特性参数评估算法研究[J].中国激光,2019,46(03):0304007.