材料

本文研究了退火温度对原子层沉积(ALD)生长的铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜光电性质的影响，发现AZO薄膜经过退火后，X射线衍射峰半峰宽从0.609°减小到0.454°，晶体质量得到提升，表面粗糙度降低，在600°C退火时表面粗糙度从0.841nm降低至0.738nm。电学性质方面，400°C退火时，载流子浓度从5.7*1018cm-3提高到1.9*1019cm-3，迁移率从2.5cm2V-1S-1提高到4.2cm2V-1S-1。但是当退火温度继续升高时，薄膜中氧空位浓度降低以及电荷在晶粒间传输的势垒改变，使载流子浓度和迁移率降低。同时，随着退火温度的逐渐升高，薄膜的吸收边先蓝移后红移，这是由于载流子浓度的变化，引起了莫斯-布尔斯坦效应导致的。

郭德双, 陈子男, 王登魁, 唐吉龙, 方铉, 房丹, 林逢源, 王新伟, 魏志鹏. 退火温度对铝掺杂氧化锌薄膜晶体质量及光电性质的影响[J]. 中国激光, 2019, 46(04): 2.  复制并引用该论文