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基于稀疏矩阵的光学元件表面疵病检测

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摘要

摘要 为了完成对光学元件表面疵病的快速精准测量,提出了一种基于稀疏矩阵的表面疵病快速拼接方法。该方法采用环形白光光源均匀的照射到被测元件表面,经显微散射暗场成像系统,形成暗背景下的亮疵病图像。对光学元件x,y方向进行扫描,得到子孔径拼接图像。在稀疏矩阵和图像拼接的基础上对子孔径图像进行快速拼接得到全口径疵病图像。基于最小外接矩形原理对图像疵病进行识别和分类,最终得到光学元件表面疵病划痕有7个,最大长宽分别为15.2110mm和0.0626mm;麻点有5个,最大长宽分别为0.1089mm和0.0967mm。将测量得到的划痕宽度与标准划痕宽度进行对比,得到划痕宽度的相对误差在-5.00%~5.50%。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0404007

作者单位:

    西安工业大学
    西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
    中国兵器科学研究院宁波分院
    西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
    西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
    西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
    西安工业大学光电工程学院微系统研究所

引用该论文

陈晨,王红军,王大森,田爱玲,刘丙才,朱学亮,刘卫国. 基于稀疏矩阵的光学元件表面疵病检测[J].中国激光,2019,46(04):0404007.