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中国激光
ESCI,EI,SCOPUS,CJCR,CSCD,北图
2019年第46卷第04期12页
利特罗式激光反馈光栅干涉微位移测量技术
录用时间:2018-12-07
论文栏目
测量与计量
作者单位
1 南京师范大学物理科学与技术学院
2 南京师范大学
3 南京师范大学物理与技术学院光电子研究所
论文摘要
通过在激光反馈干涉系统(LFI)中引入衍射光栅,本文提出了一种基于利特罗(Littrow)结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术,用于一维、二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅,衍射光沿入射光方向返回激光腔后产生激光反馈干涉效应。引入正弦相位调制解调技术,高精度的测量一维、二维微位移。利特罗结构和光栅反馈干涉具有自准直性好、结构紧凑、易于操作和系统稳定性高的优点。实验结果表明,利特罗式激光反馈干涉系统可以实现十纳米量级的位移测量精度。
引用本文
孔令雯, 蔡文魁, 施立恒, 郭冬梅, 夏巍, 倪小琦, 郝辉, 王鸣. 利特罗式激光反馈光栅干涉微位移测量技术[J]. 中国激光, 2019, 46(04): 12. 
DOI:10.3788/cjl201946.04测量与计量12
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