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利特罗式激光反馈光栅干涉微位移测量技术

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摘要

通过在激光反馈干涉系统(LFI)中引入衍射光栅,本文提出了一种基于利特罗(Littrow)结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术,用于一维、二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅,衍射光沿入射光方向返回激光腔后产生激光反馈干涉效应。引入正弦相位调制解调技术,高精度的测量一维、二维微位移。利特罗结构和光栅反馈干涉具有自准直性好、结构紧凑、易于操作和系统稳定性高的优点。实验结果表明,利特罗式激光反馈干涉系统可以实现十纳米量级的位移测量精度。

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补充资料

DOI:10.3788/cjl201946.0404012

作者单位:

    南京师范大学物理科学与技术学院
    南京师范大学物理科学与技术学院
    南京师范大学物理科学与技术学院
    南京师范大学物理科学与技术学院
    南京师范大学物理科学与技术学院
    南京师范大学物理科学与技术学院
    南京师范大学
    南京师范大学物理与技术学院光电子研究所

引用该论文

孔令雯,蔡文魁,施立恒,郭冬梅,夏巍,倪小琦,郝辉,王. 利特罗式激光反馈光栅干涉微位移测量技术[J].中国激光,2019,46(04):0404012.